Принцип работы рентгенофлуоресцентного спектрометра

 

Метод основан на анализе спектра, полученного путём воздействия на исследуемый материал рентгеновским излучением.

Во время облучения рентгеновскими лучами атом каждого химического элемента образца излучает энергию (вторичное излучение), по спектру которой элемент может быть однозначно определен. Детектор рентгенофлуоресцентного прибора регистрирует вторичное излучение, определяет его энергию и интенсивность и представляет в виде спектра. Оценка спектра с помощью специальных алгоритмов дает возможность определить из каких элементов состоит образец, их %-ное содержание, а также толщину материала.

После попадания на детектор вторичного рентгеновского излучения, оно преобразовывается в импульс напряжения, который обрабатывается электроникой и после этого передается на компьютер.

Спектр содержит качественную и количественную информацию о тех элементах, из которых состоит образец. По пикам полученного спектра можно качественно определить, какие элементы присутствуют в образце. Информация о толщине покрытия и концентрации элементов в каждом покрытии получают из анализа спектра.

Соотношение между толщиной слоя измеряемого материала и интенсивностью излучения можно определить несколькими методами:

  • Опытным путем – с использованием калибровочных эталонов
  • Теоретически – с использованием метода фундаментального параметра
  • Комбинацией обоих методов